測頭型號
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F1
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N1
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F10
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F400
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工作原理
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磁感應(yīng)
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電渦流
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磁感應(yīng)
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磁感應(yīng)
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測量范圍(um)
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0-1250
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0-1250
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0~10000
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0-400
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低限分辨力(um)
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0.1
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0.1
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1
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0.1
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示值誤差
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一點校準(um)
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±[3%H+1]
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±[3%H+1.5]
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±(3%H+5)
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±[3%H+0.5]
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兩點校準(um)
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±[(1~3)%H+1]
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±[(1~3)%H+1.5]
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±[(1~3)%H+5]
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±(1~3) %H+0.5
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測量條件
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*小曲率半徑(mm)
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凸1.5
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3
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10
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1
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基體*小面積的直徑(mm)
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ф7
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ф5
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40
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ф3
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*小臨界厚度(mm)
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0.5
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0.3
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2
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0.2
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注:H—測量厚度值
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