測頭頭型號
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F400
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F1
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F1/90°
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F10
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工作原理
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磁感應
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||||||
測量范圍(um)
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0~400
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0~1250
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0~10000
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||||
低限分辨力(um)
|
0.1
|
0.1
|
10
|
||||
示值
誤差
|
一點校準(um)
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±(3%H+1)
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±(3%H+10)
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||||
二點校準(um)
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±[(1~3) %H+0.7]
|
±[(1~3)%H+1]
|
±[(1~3)%H+10]
|
||||
測試
條件
|
*小曲率半徑(um)
|
凸
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1
|
1.5
|
平直
|
10
|
|
*小面積的直徑(mm)
|
3
|
7
|
7
|
40
|
|||
基體臨界厚度(mm)
|
0.2
|
0.5
|
0.5
|
2
|
|||
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|||||||
側(cè)頭型號
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N1
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CN02
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|||||
工作原理
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渦流
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||||||
測量范圍(um)
|
0~1250
|
10~200
|
|||||
低限分辨力(um)
|
0.1
|
1
|
|||||
示值
誤差
|
一點校準(um)
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±(3%H+1.5)
|
±(3%H+1)
|
||||
二點校準(um)
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±[(1~3) %H+1.7]
|
—
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|||||
測試
條件
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*小曲率半徑(um)
|
3
|
僅為平直
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||||
*小面積的直徑(mm)
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5
|
7
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|||||
基體臨界厚度(mm)
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0.3
|
無限制
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